1200度单温区滑竿式PECVD系统

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详细技术参数

TL1200-S 管式炉	型号	TL1200-S-H-PECVD-I		TL1200-S-H-PECVD-II
	功率	1.5KW		1.5KW
	炉管尺寸	Dia25(OD)X1200mm		Dia50(OD)X1200mm
	外形尺寸（LXDXH）	2100X700X1200		2100X700X1200
	电源电压	220V
	相数	单相
	加热元件	进口瑞典Canthal A1 电阻丝点击进入资料下载
	控制方式	采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能（更换进口仪表，需要另外付费，选购） FP93控温仪表欧陆仪表触摸屏仪表（日本岛电）
	控温模式	智能PID
	断偶保护和显示	有
	过温保护	有
	过流保护	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	触发器	移相触发
	电器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德国西门康
	最高温度	1200 ℃
	额定温度	1100 ℃
	升温速率	≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）
	推荐升温速率	≤10℃/ Min
	热电偶型号	K 型
	加热段长度	205mm
	电器认证
	四周表面温度	≤45℃
	射频电源（等离子体发生器）	功率输出范围	0-500W
		最大反射功率	200W
		信号频率	射频：13.56MHZ±0.005%
		功率稳定度	+/-0.1%
		谐波分量	≤-50dbc
		射频区域宽度	0-600mm 可调
		匹配方式	自动
		冷却方式	分冷
		噪声	<50dB
		射频接口	50Ω N-type
		输入电源	208-240V 50/60HZ
GX供气系统主要参数	质量流量计	量程和气体	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）
		耐压	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		最大工作（使用）压力	0.3MPa
		线性	±0.5%F.S.
		重复精度	±0.2% F.S
	路数	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）
	接头类型	双卡套不锈钢接头
	系统工作压力范围	0.1~0.5 MPa
	工作温度	5-45℃
	压力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	静态混气室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽气系统方案一或方案二任选一个	电源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波纹管	KF25X1000mm
	用该系统抽炉管真空度可达	10 ^-1Pa
	真空挡板阀	KF25
	VRD-8真空泵方案一	型号	VRD-8
		极限分压强	5X10^-2Pa
		进排气接口	KF25
		电机转速	1440RPM
		抽气速率	2.2L/S
		电机功率	0.4KW
	Preiffer ACP15无油多级罗茨泵方案二	型号	ACP15
		电源	AC100-240 50/60HZ
		功率	450W
		重量	25KG
		最高氦气漏率	5 · 10-8 Pa m3/s
		抽气速率	14 m3/h
		极限压强	0.02Torr
		进、排气接口	KF25
	电阻真空计（方案一）	型号	ZDR-1
		功率	25W
		真空度测量范围	0.1-10 ⁵Pa
		电阻硅	ZJ-52T
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空（方案二）	型号	PCG554
		输入电压	24V 1A DC（配有220V变压器）
		真空计接口	KF16
		数字显示	数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
		产品尺寸	46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量	5 lbs
		检测气体	可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。
		是否防腐	防腐
		响应时间	≤30ms
		测量范围	3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵机组（选购）（方案一或方案二任选一个）	机组输入电压	380V /220V
	波纹管	KF40X1000
	真空挡板阀	KF40
	机箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型号	FJ620
		输入电压	380V
		分子泵进气口法兰	DN160
		分子泵抽气速率L/S（对空气）	600
		分子泵极限压强（Pa)	6×10^-7
		冷却方式	水冷
		冷却水压（MPa）	0.1-0.2
		冷却水温度	<25℃
		环境温度	0~40℃
		建议启东压强	<100pa
	分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）	功率	0.75KW
		电压	380V
		转速	1450rpm
		进气口径	KF25/KF40
		前机泵抽气速率（L/S）	6
		极限压强	4X10 ^-2Pa
	德国Pfeiffer真空泵（方案二）	电压	220V
		功率	110W
		抽气接口	KF40
		重量	150KG
		前机泵抽速	0.9m ³/ h
		抽气速率（N2）	33L/S
	复合真空计	复合真空计型号	ZDF
		电源	220V 55W
		控制精度	± 1%
		真空计测量范围	10^-5-10 ⁵Pa

TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统，由TL1200-S-Mini型滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

主要特点：

1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统，是在PECVD系统上安装一对滑轨，可用手动滑动系统（可按需求设计成电动）。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。

这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，炉管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10^-3 Pa，该系统使用方便，操作简单，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

Kanthal A1 原丝国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站：www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝电阻均匀、发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小温场效果好

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

5、可选UL认证电气板（全部通过UL认证的进口电器）

6、认证

7、法兰

铰链式法兰（选购）可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购）水冷法兰（选购）

描叙	数量	图片
TL1200-1200滑动式管式炉	1 套
石英管	1根
不锈钢法兰	1 套
不锈钢炉钩	1 个
氧化铝炉塞	3个
高温手套	1 双
氧化铝坩埚	1 个
Ｋ型热电偶	1个
485转换接口和软件（选配）	1 套
说明书	1本
法兰支撑架	1 份
供气系统	1台
VS-0.1抽气系统	1台
射频电源	1台
卡套	4个
波纹管	1支
真空挡板阀	1个
钢瓶接头（N代表路数）	N个
阀门接头	2个
聚四氟乙烯管(N代表路数)	NX5